集束電極付FEAを用いたCdTe-X線イメージセンサの提案(機能ナノデバイスとおよび関連技術)
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概要
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高解像度X線画像の取得を目標として、FEAとCdTe素子を対向に配置したFEA駆動CdTe-X線イメージセンサを提案し、1画素における原理検証において良好な結果を得た。更に12×12画素における画像取得に向けてマトリクス駆動FEAの試作を行った。またCdTe-X線イメージセンサのさらなる高解像度化を図るため、電子ビームの集束レンズを同一基板内に有したダブルゲート構造FEAの提案・開発を行った。エッチバック法を用い、ダブルゲート構造FEAを作製・評価した結果、集束電極の高さを最適化することで集束動作に伴う放射電流量減少を改善し、良好なビーム集束特性を確認できた。これらの結果から、ダブルゲート構造FEAを用いたFEA駆動CdTe-X線高精細イメージセンサが実現できると考えられる。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2008-01-23
著者
-
長尾 昌善
産業技術総合研究所
-
金丸 正剛
産業技術総合研究所
-
山下 進
静岡大学電子工学研究所
-
根尾 陽一郎
静岡大学電子工学研究所
-
三村 秀典
静岡大学電子工学研究所
-
根尾 陽一郎
静岡大学・電子工学研究所
-
森井 久史
静岡大学・電子工学研究所
-
青木 徹
静岡大学・電子工学研究所
-
三村 秀典
静岡大学・電子工学研究所
-
青木 徹
静岡大学電子工学研究所
-
山下 進
静岡大学・電子工学研究所
-
松原 勝見
静岡大学・電子工学研究所
-
塙 裕一郎
静岡大学電子工学研究所
-
坂田 拓也
静岡大学電子工学研究所
-
惣田 崇志
静岡大学電子工学研究所
-
韓 貴
静岡大学電子工学研究所
-
森井 久史
静岡大学電子工学研究所
-
松原 勝見
静岡大学電子工学研究所
-
三村 秀典
The Research Institute Of Electronics Shizuoka University
-
根尾 陽一郎
静岡大学 電子工学研究所
-
惣田 崇志
静岡大学 電子工学研究所
-
金丸 正剛
電総研
-
金丸 正剛
産業技術総合研究所エレクトロニクス研究部門
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