Si微小電子源とスミス・パーセル放射光応用 : 微小電子源を用いた新光源の提案(光・電子ナノデバイス)
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概要
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我々は先端径20nm以下の高さ1um程度のSi電界放射陰極(Si-FEA)を半導体微細加工により作製し、その電流放射特性を研究している。今回真空マイクロ応用とし紫外線からマイクロ波までの高帯域に発振する、Si-FEAを用いたスミス・パーセル放射光を提案し原理実験を行っている。放射実験には、シングルチップS-FEAを用い、金属周期構造との相互作用電流200nA, 加速電圧35kVの低入力電力においても、紫外線から近赤外領域において良好な放射光を得るのに成功したので報告する。上記の低入力電力においても、良好な紫外線から近赤外線領域までの放射光を確認出来たので報告する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2006-01-20
著者
-
野中 源一郎
九州大学薬学部
-
野中 作太郎
九州電気専門学校
-
根尾 陽一郎
静岡大学電子工学研究所
-
三村 秀典
静岡大学電子工学研究所
-
嶋脇 秀隆
八戸工業大学大学院工学研究科
-
根尾 陽一郎
静岡大学・電子工学研究所
-
三村 秀典
静岡大学・電子工学研究所
-
嶋脇 秀隆
八戸大学工学部
-
根尾 陽一郎
静岡大学 電子工学研究所
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