放射角制御可能なマイクロカラム用電子銃の作成と評価(電子管と真空ナノエレクトロニクス及びその評価技術)
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概要
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本研究グループは電子源と電子光学系を半導体加工技術により同一基板内に作製したマイクロサイズの電子線筐筒(マイクロカラム)の実現を目標としている.更にマイクロカラムにより高精細なクロスオーバー形成が可能となれば,高密度に集積化されたマルチビームが実現可能となり,マスクレスリソグラフィーへの応用が期待される.これまでに,引き出し電極以外に4極から構成されるマイクロカラムの試作を行い,その収束特性の評価を行った.この結果,1mmの作動距離おいて40μm径のクロスオーバー形成に成功している.更なるビーム径の縮小化には,静電レンズに入射する電子ビームの開き角を狭小化し,且つ可変に制御する必要がある.上記の性能を実現する為に,新たにイマージョンレンズを導入したマイクロ電子銃を設計・作製した.これらのビーム放射角について特性評価を行い良好な結果を得たので報告する.
- 2010-10-18
著者
-
長尾 昌善
産業技術総合研究所
-
吉田 知也
産業技術総合研究所
-
根尾 陽一郎
静岡大学電子工学研究所
-
三村 秀典
静岡大学電子工学研究所
-
酒井 健太郎
名城大学理工学部
-
村田 英一
名城大学理工学部
-
根尾 陽一郎
静岡大学・電子工学研究所
-
青木 徹
静岡大学・電子工学研究所
-
三村 秀典
静岡大学・電子工学研究所
-
青木 徹
静岡大学電子工学研究所
-
村田 英一
名城大学理工学部電気電子工学科
-
三村 秀典
静岡大学大学院電子科学研究科
-
三村 秀典
The Research Institute Of Electronics Shizuoka University
-
根尾 陽一郎
静岡大学 電子工学研究所
-
藤野 高弘
静岡大学電子工学研究所
-
高木 康男
静岡大学電子工学研究所
-
小池 昭史
静岡大学電子工学研究所
-
吉田 知也
独立行政法人 産業技術総合研究所
-
小池 昭史
株式会社ANSeeN
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