静電レンズ一体型FEAの試作と評価(電子管と真空ナノエレクトロニクス及びその評価技術)
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概要
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我々はフィールドエミッタアレイ(FEA)を用いたマイクロサイズの電子線顕微鏡の実現を目指している.この実現の為にはFEAから放射される電子ビームを収束させ高精細なビーム径を実現するマイクロ電子光学系必要不可欠となる.この目的のため我々はこれまでに静電レンズ一体型の5段ゲートFEAの開発に成功している.開発された5段ゲートによりアノードの電流量を維持したまま収束動作を行う事が可能であることを確認した.本報告において,新たにEB露光,ナイフエッジ法を用いて測定を行ったところ,明確なクロスオーバー形成の確認に成功したので報告する.
- 2009-10-08
著者
-
長尾 昌善
産業技術総合研究所
-
吉田 知也
産業技術総合研究所
-
金丸 正剛
産業技術総合研究所
-
根尾 陽一郎
静岡大学電子工学研究所
-
三村 秀典
静岡大学電子工学研究所
-
青木 徹
静岡大学電子工学研究所
-
小池 昭文
静岡大学電子工学研究所
-
高木 康男
静岡大学電子工学研究所
-
田上 知也
静岡大学電子工学研究所
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