真空マイクロエレクトロニクスの現状
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概要
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Vacuum microelectronics is potential technology of building novel electronic devices that cannot be realized by using solid-state electronics. This paper reviews the current status of this technology. Micron-size cold cathodes using field electron emission have been developed for the electron sources of novel vacuum electron devices. Recently field emission displays are getting into the flat panel display market.
- 社団法人 電気学会の論文
- 2003-05-01
著者
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