走査型マクスウェル応力顕微鏡を用いたエミッタ材料の評価
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概要
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走査型マクスウェル応力顕微鏡(SMM)は,探針と試料表面の間に働く微弱な電気力を測定する走査型プローブ顕微鏡である.特徴は,非接触で表面電位と形状の2次元イメージを同時にしかもナノスケールの分解能で測定できる事である.電界放射エミッタの高機能化を図るひとつの手段として,その表面状態の高精度な制御技術の開発が考えられる.そこで,このSMMを用いて各種エミッタ材料の表面状態(表面電位,形状)の観察,評価を行い,エミッタ高機能化への手がかりを得るのが本研究の目的である.本稿では,SMMの原理や使用したカンチレバーについて述べるとともに,Al,Mo,Nbなどの表面電位の測定結果を議論する.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1994-12-15
著者
-
金丸 正剛
産業技術総合研究所
-
安室 千晃
産業技術総合研究所
-
平野 貴之
(株)神戸製鋼所
-
井上 貴仁
産業技術総合研究所ナノテクノロジー研究部門
-
横山 浩
電子技術総合研究所
-
平野 貴之
神戸製鋼所
-
伊藤 順司
電子技術総合研究所プロセス基礎研究室
-
伊藤 順司
産業技術総合研究所
-
金丸 正剛
電子技術総合研究所
-
安室 千晃
東海大学
-
名塚 雄太郎
東海大学
-
井上 貴仁
電子技術総合研究所
-
井上 貴仁
サントリー(株)生物医学研究所
-
伊藤 順司
電子技術総合研究所
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