高安定化収束電子銃の開発
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概要
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フィールドエミッタを利用した収束電子銃の電子放出特性の安定化について報告する.作製した収束電子銃はn/p接合を有するコーン型のSiフィールドエミッタで,電子の引き出し用のゲート電極と電子ビームを絞り込むための収束電極を縦方向に備え持つ構造である.このエミッタ内部にn/p接合を形成することで,エミッタ電流が印加電圧に対して飽和を示す特性が得られ,エミッション電流の不安定性を改善できた.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1996-12-13
著者
-
金丸 正剛
電総研
-
伊藤 順司
電子技術総合研究所プロセス基礎研究室
-
伊藤 順司
産業技術総合研究所
-
金丸 正剛
電子技術総合研究所
-
伊藤 順司
電子技術総合研究所
-
鹿川 能孝
双葉電子工業(株)
-
金丸 正剛
産業技術総合研究所エレクトロニクス研究部門
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