走査型マクスウェル応力顕微鏡(SMM) : ナノ構造デバイス・材料の電気物性評価に向けて
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概要
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走査型マクスウェル応力顕微鏡(Scanning Maxwell Stress Microscope:SMM)は、原子間力顕微鏡と同様の原理に基づいて,深針に働く電気力(マクスウェル応力)を,微視的に観察する新しい走査型プローブ顕微鏡である。試料と深針とを直接接触させずに,深針に複数の周波数成分から成る交流電圧を印加し,誘起される深針の振動の周波数分析を行うことにより,試料表面の形状,表面電位・電荷,薄膜の誘電率やその高周波分散などの種々の電気的物性情報を同時に,ナノメーター域の分解能で画像化する機能を持つ。近年注目されているナノメータースケールの構造を持つ電子デバイス・材料の評価に威力を発揮することが期待される。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1994-03-18
著者
-
井上 貴仁
産業技術総合研究所ナノテクノロジー研究部門
-
横山 浩
電子技術総合研究所
-
伊藤 順司
電子技術総合研究所プロセス基礎研究室
-
伊藤 順司
産業技術総合研究所
-
井上 貴仁
電子技術総合研究所
-
Mark J.Jeffery
電子技術総合研究所
-
井上 貴仁
サントリー(株)生物医学研究所
-
伊藤 順司
電子技術総合研究所
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