走査型マクスウェル応力顕微鏡による有機薄膜における電気像のナノメータースケールイメージング
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概要
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有機薄膜の表面電位, 電荷などの電気物性と表面形状をナノメータースケールの分解能で観察するSPMとして, 走査型マクスウェル応力顕微鏡(SMM)を開発した.SMMは原子間力顕微鏡と同様に, 表面電位, 電荷, 導伝率など電気的情報と同時に表面形状の測定可能なことを特徴とする.ここでは, SMMによる有機薄膜の表面モルフォロジーや表面電位について検討した結果を報告する
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1998-10-23
著者
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