導電性AFM探針を用いたダイヤモンド薄膜からの電界放射の局所計測
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概要
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導電性探針を備えた原子間力顕微鏡(AFM)を用いて、CVDにより作製したたダイヤモンド薄膜からの電界放射特性の計測を行った。非接触モードでの表面形状と電界放射電流の同時画像化により、ナノメータースケールでの電界放射、表面形状、誘電特性および導電性の相関を得る事ができた。我々の測定系では、探針側の先鋭形状による電界集中の効果を分離することができ、FNの式から局所的な表面仕事関数を見積もる事ができた。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1997-12-11
著者
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井上 貴仁
産業技術総合研究所ナノテクノロジー研究部門
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井上 貴仁
電子技術総合研究所
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Carpick Robert
カリフォルニア大学バークレー校ローレンスバークレー研究所
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Ogletree Frank
カリフォルニア大学バークレー校ローレンスバークレー研究所
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Salmeron Miquel
カリフォルニア大学バークレー校ローレンスバークレー研究所
-
井上 貴仁
サントリー(株)生物医学研究所
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