真空マイクロエレクトロニクス (<特集> ミクロを創る 5.デバイス機能-2)
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概要
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真空マイクロエレクトロニクスは,真空電子のもつ高速性や優れた耐環境性と,微細さや集積化を特徴とするマイクロエレクトロニクスの特質とを兼ね備えた,高性能な真空マイクロデバイスの実現を目指す研究分野である.そのためには,電子を真空に放出する電子源とミクロンサイズの真空微構造および複数の制御電極を一体化・集積化することが必要となる.本稿では,最も重要な構成要素である電子源について,フィールドエミッタアレー(FEA)を中心に現状や課題を紹介する.また,フラットパネルディスプレイやセンサなどの応用デバイスの試作例も紹介する.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1994-11-25
著者
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