グラフェンシート構造を有するナノニードルからの電子放出の安定化 : 炭素系カソード放射電流変動のモデル提案(電子管と真空ナノエレクトロニクス及びその評価技術)
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概要
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グラファイト基板を水素プラズマでスパッタリングすることでグラフェンシートの層状構造を有するナノサイズのチップを高密度で成長・形成可能である。これまでにグラファイトナノニードル(GRANN)を走査型電子顕微鏡(scanning electron beam microscope : SEM)の電子源として搭載しブライトネス測定を行った結果、10^<11> Asr^<-1> m^<-2>の非常に高い輝度を有する事を明らかにした。またGRANNを加熱する事により、チップノイズを大幅に減少可能で、10^<-3>Pa程度の圧力下において安定したSEMイメージを取得出来る事を示した。本報告では、GRANNの電流変動の温度特性・ガス種依存性について詳細に解析したので報告する。この結果、物理吸着起因による電流変動のモデル化はポアソン布でモデル化可能であることを見いだした。この手法により各ガス種のグラファイトへの物理吸着エネルギーの測定が可能であり文献値と非常によく一致する結果となった。
- 2007-07-27
著者
-
根尾 陽一郎
静岡大学電子工学研究所
-
三村 秀典
静岡大学電子工学研究所
-
根尾 陽一郎
静岡大学・電子工学研究所
-
三村 秀典
静岡大学・電子工学研究所
-
松本 貴裕
スタンレー電気株式会社
-
冨田 誠
静岡大学理学部
-
冨田 誠
静岡大学理学研究科:創造大学院
-
三村 秀典
The Research Institute Of Electronics Shizuoka University
-
根尾 陽一郎
静岡大学 電子工学研究所
-
松本 裕貴
スタンレー電気株式会社
-
南 就将
慶応大学医学部
-
冨田 誠
静岡大 理
-
冨田 誠
静岡大学理:静岡大学創造大学院
-
松本 貴祐
物性研
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