真空マイクロエレクトロニクス素子の陰極材料としての窒化ニオブ薄膜の作製と評価
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概要
著者
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辻 博司
京都大学大学院工学研究科電子物性工学専攻
-
後藤 康仁
京都大学大学院工学研究科電子物性工学専攻
-
石川 順三
京都大学大学院工学研究科電子物性工学専攻
-
後藤 康仁
京都大学大学院工学研究科
-
長尾 昌善
独立行政法人産業技術総合研究所
-
長尾 昌善
京都大学大学院工学研究科
-
浦 利之
京都大学大学院工学研究科電子物性工学専攻
-
辻 博司
京都大学大学院工学研究科電子工学専攻
-
石川 順三
京都大学大学院工学研究科
-
辻 博司
京都大学大学院工学研究科
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