フィールドエミッタアレイを用いた電子デバイスにおける空間電荷効果(電子管と真空ナノエレクトロニクス及びその評価技術)
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概要
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加速電圧V_aでフィールドエミッタアレイから引き出された電子ビームのもつ軸方向の空間電荷制限電流を数値計算により求めた.一次元のPoisson方程式を数値的に解き,電子ビームの初期エネルギーが50eVと100eVの場合,電極間隔が5mmと10mmの場合,コレクタ電極の電位が0Vから1000Vまでの範囲で,コレクタに到達する電流量を求めた.得られた結果をこれまでの実験結果と比較し,空間電荷の影響について検証した.
- 2012-11-12
著者
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