真空蒸着装置(イオンビームアシスト蒸着法)の作製と窒化ジルコニウム薄膜への応用(平成8年度第1回関西支部研究例会の講演要旨)
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概要
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- 1996-07-20
著者
-
辻 博司
京都大学大学院工学研究科電子物性工学専攻
-
後藤 康仁
京都大学大学院工学研究科電子物性工学専攻
-
石川 順三
京都大学大学院工学研究科電子物性工学専攻
-
後藤 康仁
京都大学大学院工学研究科
-
藤森 敬和
京都大学工学部
-
藤森 敬和
京都大学大学院工学研究科電子物性工学専攻
-
椎木 崇
京都大学大学院工学研究科電子物性工学専攻
-
辻 博司
京都大学大学院工学研究科電子工学専攻
-
石川 順三
京都大学大学院工学研究科
-
辻 博司
京都大学大学院工学研究科
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