藤森 敬和 | 京都大学大学院工学研究科電子物性工学専攻

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• 藤森 敬和

  京都大学工学部

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• 辻 博司

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• 後藤 康仁

  京都大学大学院工学研究科電子物性工学専攻

• 石川 順三

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• 後藤 康仁

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• 椎木 崇

  京都大学大学院工学研究科電子物性工学専攻

• 辻 博司

  京都大学大学院工学研究科電子工学専攻

• 石川 順三

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著作論文

• 真空マイクロエレクトロニクス素子のための窒化ジルコニウム薄膜の作製と評価
• 真空蒸着装置(イオンビームアシスト蒸着法)の作製と窒化ジルコニウム薄膜への応用(平成8年度第1回関西支部研究例会の講演要旨)
• 低エネルギー引き出し小型マイクロ波イオン源の開発

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