石川 順三 | 京都大学工学研究科
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概要
関連著者
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石川 順三
京都大学工学研究科
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辻 博司
京都大学工学研究科
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後藤 康仁
京都大学工学研究科
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酒井 滋樹
日新イオン機器株式会社
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豊田 啓孝
京都大学工学部電子工学教室
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豊田 啓孝
京都大学大学院工学研究科電子物性工学教室
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松田 耕自
日新電機
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丹上 正安
日新電機
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酒井 滋樹
日新電機(株)研究開発本部
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石川 順三
Dep. Of Electronics And Information Engineering Chubu Univ.
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後藤 康仁
京都大学大学院工学研究科電子物性工学専攻
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石川 順三
京大工
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後藤 康仁
京都大学大学院工学研究科
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松田 耕自
日新電機(株)
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丹上 正安
日新電機(株)研究開発本部
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南雲 正二
京都大学工学部電子工学教室
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丹上 正安
日新電機(株)
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高木 俊宜
京都大学工学部
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後藤 康仁
京都大学大学院工学研究科電子工学専攻
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岡山 芳央
三洋電機株式会社技術開発本部
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岡山 芳央
京都大学工学部電子工学教室
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酒井 滋樹
日新電機株式会社研究開発本部
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高木 俊宜
京都大学工学部電子工学教室
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長尾 昌善
産業技術総合研究所
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西本 清一
京都大学大学院工学研究科
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辻 博司
京都大学大学院工学研究科電子物性工学専攻
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本野 正徳
京都大学大学院工学研究科電子物性工学専攻
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菅原 弘允
京都大学大学院工学研究科電子物性工学専攻
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佐藤 弘子
京都大学大学院工学研究科電子物性工学専攻
-
佐藤 弘子
京都大学工学部高分子化学教室
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中村 好志
京都大学工学研究科
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西本 清一
京都大学工学研究科
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高木 俊宜
京大・電子工学
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小島 俊彦
京都大学大学院工学研究科電子工学専攻
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池尻 忠司
日新イオン機器株式会社
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海勢頭 聖
日新イオン機器株式会社
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長井 宣夫
日新イオン機器株式会社
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小島 俊彦
京都大学工学研究科
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金丸 正則
産業技術総合研究所
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浅利 正敏
島津製作所けいはんな研究所
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辻 博司
Department Of Electronic Science And Engineering Kyoto University
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鷺森 友彦
京都大学工学研究科電子物性工学
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菅原 弘允
京都大学工学研究科電子物性工学
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本野 正徳
京都大学工学研究科電子物性工学
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石川 順三
京都大学大学院工学研究科電子物性工学教室
-
長尾 昌善
独立行政法人産業技術総合研究所
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長町 信治
島津けいはんな研
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長町 信治
島津製作所けいはんな研究所
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山蔭 康弘
島津製作所けいはんな研究所
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丸野 浩昌
島津製作所けいはんな研究所
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上田 雅弘
島津製作所けいはんな研究所
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杉本 征治
島津製作所けいはんな研究所
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高木 俊宜
京大 工
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池田 茂雄
京都大学工学研究科
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上田 雅弘
島津けいはんな研
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芝原 豪
京都大学工学研究科電子物性工学専攻
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安孫子 正義
京都大学工学研究科電子物性工学専攻
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藤森 敬和
京都大学工学部
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池村 慎一
京都大学工学研究科
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池村 慎一
京都大学大学院工学研究科
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藤森 敬和
京都大学大学院工学研究科電子物性工学専攻
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Hirama Toshiyasu
Research Center For Charged Particle Therapy National Institute Of Radiological Sciences
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丹上 正安
日新電機株式会社研究開発本部
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松田 耕自
日新電機株式会社研究開発本部
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河合 禎
日新電機(株)研究開発部
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大西 浩之
京都大学工学部
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松田 耕自
京都大学工学部電子工学教室
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山蔭 康弘
島津製作所
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佐藤 弘子
京都大学工学部
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石川 順三
京都大学工学部電子工学教室
著作論文
- イオン注入装置の帯電緩和素子への応用を目指したシリコンフィールドエミッタアレイの開発(電子管と真空ナノエレクトロニクス及びその評価技術)
- 金属負イオン注入による二酸化チタンルチルの光触媒効率の改善
- 低エネルギー集束イオンビーム直接蒸着装置の開発
- 低エネルギー小型マイクロ波イオン源を用いたイオソビームアシスト蒸着装置の開発
- 銀負イオン注入材料に対する血管内皮細胞の挙動に関する研究-細胞誘導と配列-
- 高周波プラズマスパッタ型負重イオン源における気体材料の負イオン生成
- 負イオン注入における絶縁した電極表面の帯電電位のイオン電流密度依存性
- 低エネルギー引き出し小型マイクロ波イオン源の開発
- 重イオン源の進歩と応用
- 微細周期構造にイオン注入したときの素子帯電のシミュレーション
- イオン誘起二次電子による負イオン注入時の絶縁物基板の帯電測定
- 絶縁性基板への負イオン注入によるチャージアップの軽減
- 負イオン注入における基板帯電モデルとその評価
- イオン誘起二次電子分析による負イオン注入時のレジスト膜の帯電測定
- マイクロバキューム・チューブ
- 負イオン源
- 低エネルギーイオンビーム蒸着による薄膜作製技術