酒井 滋樹 | 日新電機(株)研究開発本部

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概要

• 同名の論文著者
• 日新電機(株)研究開発本部の論文著者

関連著者

• 酒井 滋樹

  日新イオン機器株式会社

• 酒井 滋樹

  日新電機(株)研究開発本部

• 松田 耕自

  日新電機

• 後藤 康仁

  京都大学工学研究科

• 辻 博司

  京都大学工学研究科

• 石川 順三

  京都大学工学研究科

• 松田 耕自

  日新電機(株)

• 丹上 正安

  日新電機

• 丹上 正安

  日新電機(株)研究開発本部

• 丹上 正安

  日新電機(株)

• 豊田 啓孝

  京都大学工学部電子工学教室

• 豊田 啓孝

  京都大学大学院工学研究科電子物性工学教室

• 青木 正彦

  日新電機(株)

• 岡山 芳央

  三洋電機株式会社技術開発本部

• 岡山 芳央

  京都大学工学部電子工学教室

• 高橋 正人

  日新電機(株)

• 山原 登

  日新電機(株)

• 南雲 正二

  京都大学工学部電子工学教室

• 河合 禎

  日新電機(株)研究開発部

• 大西 浩之

  京都大学工学部

• 高橋 正人

  日新電機

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著作論文

• 負イオン注入における絶縁した電極表面の帯電電位のイオン電流密度依存性
• 極浅接合形成用イオン注入装置の開発
• 微細周期構造にイオン注入したときの素子帯電のシミュレーション
• 絶縁性基板への負イオン注入によるチャージアップの軽減
• イオン誘起二次電子分析による負イオン注入時のレジスト膜の帯電測定

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