負イオン注入における絶縁した電極表面の帯電電位のイオン電流密度依存性
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概要
著者
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松田 耕自
日新電機
-
酒井 滋樹
日新イオン機器株式会社
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後藤 康仁
京都大学工学研究科
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辻 博司
京都大学工学研究科
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石川 順三
京都大学工学研究科
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松田 耕自
日新電機(株)
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丹上 正安
日新電機
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岡山 芳央
三洋電機株式会社技術開発本部
-
岡山 芳央
京都大学工学部電子工学教室
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豊田 啓孝
京都大学工学部電子工学教室
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酒井 滋樹
日新電機(株)研究開発本部
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丹上 正安
日新電機(株)研究開発本部
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豊田 啓孝
京都大学大学院工学研究科電子物性工学教室
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丹上 正安
日新電機(株)
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