高周波プラズマスパッタ型負重イオン源における気体材料の負イオン生成
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概要
著者
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後藤 康仁
京都大学工学研究科
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辻 博司
京都大学工学研究科
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石川 順三
京都大学工学研究科
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岡山 芳央
三洋電機株式会社技術開発本部
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岡山 芳央
京都大学工学部電子工学教室
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豊田 啓孝
京都大学工学部電子工学教室
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豊田 啓孝
京都大学大学院工学研究科電子物性工学教室
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