豊田 啓孝 | 京都大学工学部電子工学教室
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概要
関連著者
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後藤 康仁
京都大学工学研究科
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辻 博司
京都大学工学研究科
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京都大学工学研究科
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京都大学工学部電子工学教室
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京都大学大学院工学研究科電子物性工学教室
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日新イオン機器株式会社
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日新電機
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日新電機
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酒井 滋樹
日新電機(株)研究開発本部
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日新電機(株)
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三洋電機株式会社技術開発本部
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京都大学工学部電子工学教室
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日新電機(株)研究開発本部
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日新電機株式会社研究開発本部
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日新電機(株)
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日新電機株式会社研究開発本部
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松田 耕自
日新電機株式会社研究開発本部
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松田 耕自
京都大学工学部電子工学教室
著作論文
- 高周波プラズマスパッタ型負重イオン源における気体材料の負イオン生成
- 負イオン注入における絶縁した電極表面の帯電電位のイオン電流密度依存性
- 微細周期構造にイオン注入したときの素子帯電のシミュレーション
- イオン誘起二次電子による負イオン注入時の絶縁物基板の帯電測定
- 負イオン注入における基板帯電モデルとその評価
- イオン誘起二次電子分析による負イオン注入時のレジスト膜の帯電測定