合金ターゲットを使った反応性マグネトロンスパッタ法によるV_<1-x>M_x O_2(M=W, Mo)サーモクロミック薄膜の作成と調光特性
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概要
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- 1995-11-27
著者
-
吉村 和記
産総研
-
金 平
産総研
-
吉村 和記
名古屋工業技術研究所
-
金 平
名古屋工業技術研究所
-
種村 榮
名古屋工業技術研究所
-
三木 健
名古屋工業技術研究所
-
種村 栄
名古屋工業技術研究所
-
五十嵐 一男
名古屋工業技術研究所
-
藤井 篤
名古屋工業技術研究所
-
三木 健
名古屋工技研
-
五十嵐 一男
名古屋工技研
-
種村 栄
名工大
-
藤井 篤
名古屋工技研
-
吉村 和記
独立行政法人 産業技術総合研究所 サステナブルマテリアル研究部門
-
金 平
名古屋工業大学窯業技術研究施設
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