SiCステップ制御エピタキシーと電子デバイスへの展開

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概要

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• 社団法人電子情報通信学会の論文
• 1998-03-06

著者

• 松波 弘之

  京都大学工学部電気電子工学教室

• 松波 弘之

  京都大学工学部

• 松波 弘之

  京都大学大学院工学研究科

• 松波 弘之

  京都大学工学研究科

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