27pC8 Sicステップ制御エピタキシーの律速過程(気相成長IV)

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概要

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• 日本結晶成長学会の論文
• 1993-07-10

著者

• 松波 弘之

  京都大学工学部

• 木本 恒暢

  京都大学工学研究科

• 西野 弘師

  京都大学工学部

• 木本 恒暢

  京大

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