高耐圧パワーデバイス応用を目指したSiCのエピタキシャル成長と欠陥制御

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概要

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• 2011-06-20

著者

• 須田 淳

  京都大学工学研究科電子工学専攻

• 木本 恒暢

  京都大学工学研究科

• 木本 恒暢

  京都大学工学研究科電子工学専攻

• 木本 恒暢

  京都大学大学院工学研究科

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