XPSおよびC-V測定によるCat-CVD SiN保護膜を有するAlGaN/GaN HFETの表面バリアハイト評価

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概要

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• 電子情報通信学会の論文
• 2006-10-05

著者

• 須田 淳

  京都大学工学研究科電子工学専攻

• 東脇 正高

  独立行政法人情報通信研究機構

• 小野島 紀夫

  NICT

• 東脇 正高

  カリフォルニア大 サンタバーバラ校

• 小野島 紀夫

  情報通信研究機構

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