微細T型ゲートを有するサブミリ波InP-HEMTの作製 : 微細T型ゲート加工条件の最適化
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概要
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周波数の高いミリ波には、一度に大容量の情報を伝送し、比較的小さなアンテナでも高い指向性を容易に実現できる等の特徴があるため、近年ミリ波を用いた新しい高速無線通信システムが提案され、実用化に向けて研究が進められている。InP系HEMTはこれらのシステムを実現するためのキーデバイスである。我々はこれまでに3層レジストを用いた簡便なリフトオフプロセスおよび低温プロセスの導入により、ゲート長50nmのT型ゲートを有するHEMTにおいて遮断周波数362GHzの優れた特性を実現した。本研究ではさらに微細なゲートを有する素子実現を目指して、微細T型ゲートの加工条件の最適化を行い、レジストパターンで15nm、実際の素子で35nmまでの微細なゲートを作製する技術を確立した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2001-01-11
著者
-
松井 敏明
独立行政法人情報通信研究機構先端ictデバイスグループ
-
山下 良美
独立行政法人情報通信研究機構先端ICTデバイスグループ
-
広瀬 信光
独立行政法人情報通信研究機構先端ICTデバイスグループ
-
広瀬 信光
郵政省通信総合研究所
-
松井 敏明
郵政省通信総合研究所
-
彦坂 康己
富士通研究所
-
冷水 佐壽
大阪大学大学院基礎工学研究科
-
冷水 佐壽
大阪大学大学院基礎工学研究科:(現)奈良高等工業専門学校
-
彦坂 康己
富士通株式会社
-
松井 敏明
情報通信研究機構ミリ波デバイスグループ
-
東脇 正高
独立行政法人情報通信研究機構
-
篠原 啓介
情報通信研究機構
-
山下 良美
富士通株式会社
-
三村 高志
富士通株式会社
-
冷水 佐壽
大阪大学基礎工学部
-
篠原 啓介
郵政省通信総合研究所
-
東脇 正高
郵政省通信総合研究所
-
篠原 啓介
情報通信研究機構:(現)hrl Laboratories Llc
-
東脇 正高
カリフォルニア大 サンタバーバラ校
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