リフトオフ法を用いたミリ波薄膜回路部品の精密加工
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概要
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ミリ波帯では, マイクロ波帯に比べ表皮効果は一層顕著となり, 伝送路を構成する薄膜導体の材質, 基板及び導体の表面状態, 膜厚によってミリ波信号の伝送損失が大きく左右される。また, 短波長化によりミリ波の薄膜アンテナ, 薄膜回路及びガウシアンビームアンテナ等のミリ波帯準光学回路部品の形成には高い精度の加工が必要となる。リフトオフ法を用いた銅薄膜による高精度ミリ波帯薄膜平面回路の形成法について報告する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1997-03-06
著者
-
吉森 茂
拓殖大学工学部電子システム工学科
-
松井 敏明
独立行政法人情報通信研究機構先端ictデバイスグループ
-
広瀬 信光
独立行政法人情報通信研究機構先端ICTデバイスグループ
-
吉森 茂
拓殖大学工学部
-
川村 光男
拓殖大学 工学部 電子工学科
-
川村 光男
拓殖大学工学部電子工学科
-
湯澤 治信
拓殖大学工学部
-
広瀬 信光
郵政省通信総合研究所
-
松井 敏明
郵政省通信総合研究所
-
松井 敏明
情報通信研究機構ミリ波デバイスグループ
-
湯澤 治信
郵政省通信総合研究所yrc:(株)木梨電機製作所
-
吉森 茂
拓殖大学工学部電子工学科
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