C-8-2 NbN/AlN多層膜のAES・XRD分析
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概要
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- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1999-03-08
著者
-
吉森 茂
拓殖大学工学部電子システム工学科
-
吉森 茂
拓殖大学工学部
-
川村 光男
拓殖大学 工学部 電子工学科
-
小林 晃
拓殖大学工学部電子工学科
-
捧 俊平
拓殖大学工学部電子工学科
-
志田 真
拓殖大学工学部電子工学科
-
吉原 亨
拓殖大学工学部電子工学科
-
井上 徹
拓殖大学工学部電子工学科
-
内田 恭敬
帝京科学大学
-
川村 光男
拓殖大学工学部電子工学科
-
内田 恭敬
帝京科大 理工
-
吉森 茂
拓殖大学工学部電子工学科
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