SiCへの高エネルギーAl, Bイオン注入による深い接合の形成
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概要
著者
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松波 弘之
京都大学大学院工学研究科電子物性工学専攻
-
木本 恒暢
京都大学工学部電気電子工学科
-
木本 恒暢
京都大学大学院工学研究科電子工学専攻
-
宮本 直
京都大学
-
木本 恒暢
京都大学
-
松波 弘之
京都大学 工学研究科
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