多結晶Si薄膜の製作 : エピタキシー(VPE)
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概要
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- 日本結晶成長学会の論文
- 1978-11-05
著者
-
松波 弘之
京都大学大学院工学研究科電子物性工学専攻
-
松波 弘之
京大工
-
西野 茂弘
京都工繊大学
-
田中 哲郎
京大工
-
田中 哲郎
京大・工
-
三谷 清
京大・工
-
西野 茂弘
京大・工
-
松波 弘之
京大・工
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