松波 弘之 | 京大・工

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概要

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• 松波 弘之

  京都大学大学院工学研究科電子物性工学専攻

• 松波 弘之

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• 田中 哲郎

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著作論文

• 多結晶Si薄膜の製作 : エピタキシー(VPE)
• 6H-SiCの気相成長 : エピタキシー(VPE)
• α-SiCの気相成長 : エピタキシー
• 多結晶Si薄膜の製作 : エピタキシー
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• ディップ法による6H-SiCの液相エピタキシャル成長 : エピタキシー (LPE, VPE)

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