単一2.2V動作STOキャパシタ搭載WLAN用MMICパワーアンプ
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概要
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2.4 GHz帯無線ローカルエリアネットワーク(WLAN)システムはPCカードでの普及が進んでいる。このため, 超小型で高効率かつ低電庄単一電源動作が可能なMMICアンプが求められている。我々はこれまで, 単一電源動作可能なダブルドープダブルヘテロ接合FET(HJFET)と, 20 GHzまで比誘電率(ε_r)200を持つSrTiO_3(STO)薄膜キャパシタをGaAs基板上に形成するプロセスを開発した。今回これらの技術を用い, 2.2 Vにて単一電源動作可能な超小型高効率MMICパワーアンプを開発したので報告する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1997-03-06
著者
-
山口 佳子
Nec関西エレクトロニクス研究所
-
宮坂 洋一
NEC基礎研究所
-
富田 正俊
NEC関西エレクトロニクス研究所
-
岩田 直高
NEC関西エレクトロニクス研究所
-
西村 武史
NEC関西エレクトロニクス研究所
-
葛原 正明
NEC ULSIデバイス開発研究所
-
葛原 正明
日本電気
-
西村 武史
Nec化合物デバイス事業部
-
竹村 浩一
NEC基礎研究所
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