マルチターゲットスパッタ法による Pb(Zr,Ti)O_3 強誘電体薄膜の作製とその評価
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概要
著者
-
宮坂 洋一
NEC基礎研究所
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宮坂 洋一
NEC 基礎研究所
-
長谷 卓
NEC基礎研究所
-
平田 和男
日電アネルバ(株)
-
細川 直吉
日電アネルバ株式会社
-
細川 直吉
アネルバ株式会社
-
宮坂 洋一
Nec 基礎研
-
佐久間 敏幸
日本電気(株)
-
長谷 卓
NEC 基礎研究所
-
佐久間 敏幸
NEC 基礎研究所
-
細川 直吉
日電アネルバ
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