制御電極による2極スパッタの放電々流の制御(I) : 薄膜
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概要
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- 社団法人日本物理学会の論文
- 1969-03-30
著者
-
麻蒔 立男
東京理科大学工学部電気工学科
-
麻蒔 立男
東京理科大学工学部・電気工学科
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麻蒔 立男
日電バリアン(株)
-
細川 直吉
日電アネルバ株式会社
-
細川 直吉
アネルバ株式会社
-
細川 直吉
日電アネルバ研究開発本部
-
竹谷 道生
日電バリアン(株)
-
細川 直吉
日電バリアン(株)
-
麻蒔 立男
日電バリアン (株)
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