麻蒔 立男 | 日電バリアン(株)

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• 4極直流および高周波スパッタ膜の諸特性 : 表面物理, 薄膜
• 制御電極による2極スパッタの放電々流の制御(I) : 薄膜
• スパッタイオンポンプ

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