麻蒔 立男 | 東京理科大学工学部電気工学科
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概要
関連著者
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麻蒔 立男
東京理科大学工学部電気工学科
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麻蒔 立男
東京理科大学工学部・電気工学科
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日電アネルバ研究開発本部
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松田 知子
東京理科大学工学部電気工学科
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内山 隆志
東京理科大・工
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米内山 誠吾
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西川 英一
東京理科大
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稲葉 明宏
東京理科大学工学部
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竹谷 道生
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石橋 啓次
キヤノンアネルバ株式会社 エレクトロンデバイス装置事業部
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石橋 啓次
日電アネルバ(株)
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東京理科大学工学部
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保立 浩一
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細川 直吉
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麻蒔 立男
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日電アネルバ
著作論文
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- 高真空スパッタによる微細孔の埋込
- 磁石内蔵形正マグネトロン真空計
- 磁石内蔵形マグネトロン真空計
- 電界制御熱陰極マグネトロン真空計
- 電界制御熱陰極マグネトロン真空計のイオンコレクタ電極間距離
- 卵形冷陰極マグネトロン真空計の研究
- 磁石内蔵形冷陰極逆マグネトロン真空計の最適化
- セルフスパッタ・リフローによる微細孔の埋込
- 高真空平板マグネトロン放電の開発
- 磁石内蔵形冷陰極逆マグネトロン真空計の最適化
- 制御電極による2極スパッタの放電々流の制御(I) : 薄膜
- スパッタされた原子の飛跡
- 銅のセルフスパッタとその埋込み特性
- 直流二極スパッタの制御電極による制御