細川 直吉 | 日電アネルバ

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概要

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• 同名の論文著者
• 日電アネルバの論文著者

関連著者

• 細川 直吉

  日電アネルバ株式会社

• 細川 直吉

  アネルバ株式会社

• 関口 敦

  日電アネルバ

• 細川 直吉

  日電アネルバ研究開発本部

• 清水 肇

  電子技術総合研究所

• 村上 寛

  電子技術総合研究所

• 岡田 修

  日電アネルバ株式会社

• 一村 信吾

  電子技術総合研究所

• 国分 清秀

  電子技術総合研究所

• 岡田 修

  アネルバ株式会社プロセス開発研究所

• 小林 司

  日電アネルバ

• 関口 敦

  アネルバ株式会社プロセス開発研究所

• 工藤 勲

  電子技術総合研究所

• 小野 雅敏

  電子技術総合研究所

• 加藤 敏郎

  名古屋大学工学部

• 石川 雄一

  株式会社日立製作所機械研究所

• 中川 行人

  日電アネルバ株式会社研究開発本部

• 平田 和男

  日電アネルバ(株)

• 矢部 勝昌

  北海道工業技術研究所

• 戸田 義継

  電子技術総合研究所

• 増田 俊雄

  名古屋大学全学技術センター工学技術系

• 近藤 行人

  日本電子株式会社

• 戸部 了己

  日電アネルバ株式会社

• 佐々木 雅夫

  日電アネルバ株式会社

• 小原 建治郎

  日本原子力研究所

• 小宮 宗治

  日本真空技研

• 美馬 宏司

  大阪市立大学

• 鈴木 晶雄

  大阪産業大学工学部電子情報通信工学科

• 松下 辰彦

  大阪産業大学工学部電子情報通信工学科

• 本島 修

  核融合科学研究所

• 尾浦 憲治郎

  大阪大学工学部

• 金子 英司

  東洋大学工学部

• 松本 裕治

  電子技術総合研究所

• 大和田野 芳郎

  電子技術総合研究所

• 加藤 茂樹

  高エネルギー加速器研究機構

• 伊藤 弘昌

  東北大学 電気通信研究所

• 久保 和也

  北海道大学工学部

• 鈴木 晶雄

  大阪産業大学工学部電気電子工学科

• 坂本 吉亮

  大阪産業大学工学部電気電子工学科

• 和田 直己

  大阪産業大学工学部電気電子工学科

• 奥田 昌宏

  大阪府立大学工学部電子物理工学科

• 松下 辰彦

  大阪産業大学工学部電気電子工学科

• 鈴木 一弘

  川崎製鉄(株)技術研究所

• 高橋 夏木

  日本真空技術(株)産業機器事業部

• 大久保 治

  日本真空技術(株)産業機器事業部

• 斎藤 和雄

  名古屋工業技術研究所

• 清水 三郎

  日本真空技術(株)

• 宮坂 洋一

  NEC基礎研究所

• 鈴木 芳生

  日立製作所中央研究所

• 麻蒔 立男

  東京理科大学・工学部

• 小林 康宏

  川崎製鉄(株)技術研究所

• 畑村 洋太郎

  東京大学工学部

• 浦野 俊夫

  神戸大学工学部

• 笠原 章

  金属材料技術研究所

• 吉原 一紘

  金属材料技術研究所

• 川田 正国

  電子技術総合研究所

• 辻 博司

  京都大学大学院工学研究科電子物性工学専攻

• 石川 順三

  京都大学大学院工学研究科電子物性工学専攻

• 広畑 優子

  北海道大学大学院工学研究科

• 宮坂 洋一

  NEC 基礎研究所

• 緒方 潔

  日新電機株式会社

• 小林 司

  アネルバ(株)プロセス開発研究所

• 上田 新次郎

  株式会社日立製作所機械研究所

• 斎藤 一也

  日本真空技術株式会社

• 土佐 正弘

  金属材料技術研究所

• 関根 重幸

  電子技術総合研究所

• 阿部 哲也

  日本原子力研究所那珂研究所

• 佐藤 幸恵

  日本真空技術(株)筑波超材研

• 黒河内 智

  理化学研究所

• 渡部 秀

  理化学研究所

• 本間 禎一

  千葉工業大学工学部

• 多賀 康訓

  豊田中央研究所

• 赤石 憲也

  核融合科学研究所

• 木内 正人

  大阪工業技術研究所

• 岡野 達雄

  東京大学生産技術研究所

• 小島 昭

  群馬工業高等専門学校

• 後藤 誠

  北陸職業能力開発大学校

• 平松 成範

  高エネルギー物理学研究所

• 佐久間 泰

  ダイゴールド株式会社

• 加藤 隆男

  株式会社荏原総合研究所精密電子研究所

• 高木 祥示

  東邦大学理学部

• 柿原 和久

  高エネルギー加速器研究機構

• 麻蒔 立男

  東京理科大学工学部電気工学科

• 麻蒔 立男

  東京理科大学工学部・電気工学科

• 雨宮 進

  名古屋大学工学部原子核工学科

• 加藤 正明

  群馬工業高等専門学校

• 久保田 雄輔

  核融合科学研究所

• 斉藤 芳男

  高エネルギー物理学研究所

• 永井 康睦

  日立電線(株)システムマテリアル研究所

• 金原 粲

  東京大学工学部

• 長谷 卓

  NEC基礎研究所

• 板倉 明子

  金属材料技術研究所

• 大谷 和男

  大阪工業技術研究所

• 山口 貢

  (株)東芝

• 伴野 達也

  東京大学工学系研究科物理工学専攻

• 道園 真一郎

  高エネルギー加速器研究機構

• 後藤 哲二

  東邦大学理学部

• 大塚 康二

  サンケン電気

• 田中 武

  広島工業大学

• 前野 勝樹

  日本原子力研究所

• 中川 行人

  アネルバ株式会社装置事業部第一製品技術グループ

• 後藤 敬典

  名古屋工業大学

• 岸田 俊二

  日本電気株式会社

• 桜井 利夫

  東京大学物性研究所

• 山川 洋幸

  日本真空技術(株)

• 川畑 敬志

  広島工業大学

• 鈴木 正昭

  北海道工業開発試験所

• 林 俊雄

  日本真空技術(株)技術開発部

• 田村 繁治

  大阪工業技術研究所

• 鈴木 浩司

  名古屋工業大学

• 福田 茂樹

  高エネルギー加速器研究機構

• 穴見 昌三

  高エネルギー物理学研究所

• 林 和孝

  三菱電機通信機製作所

• 井上 成美

  防衛大学校

• 柏原 茂

  防衛大学校

• 尾崎 立哉

  防衛大学校

• 戸嶋 成忠

  防衛大学校

• 吉田 貞史

  電子技術総合研究所

• 浅野 清光

  高エネルギー加速器研究機構

• 町田 和雄

  電子技術総合研究所

• 岩田 敏彰

  電子技術総合研究所

• 栗田 康雄

  (株)東芝

• 本田 登志雄

  (株)東芝

• 小林 明子

  アネルバ株式会社プロセス開発研究所

• 柿原 和久

  高エネルギー物理学研究所

• 高橋 直樹

  日本真空技術(株)

• 辻 泰

  (株)アルバック・コーポレートセンター

• 秋道 斉

  (株)アルバック・コーポレートセンター

• 竹内 協子

  (株)アルバック・コーポレートセンター

• 荒井 孝夫

  (株)アルバック・コーポレトーセンター

• 田中 智成

  (株)アルバック・コーポレトーセンター

• 前田 高雄

  東京理科大学工学部

• 橋場 正男

  北海道大学工学部

• 山科 俊郎

  北海道大学工学部

• 新澤 勉

  日本電気株式会社

• 菅井 和己

  日本電気株式会社

• 小林 明子

  日電アネルバ株式会社

• 岡林 秀和

  日本電気株式会社

• 八子 忠明

  住友化学工業株式会社

• 三重野 哲

  静岡大学理学部物理学科

• 池田 省三

  金属材料技術研究所

• 蟹江 壽

  東京理科大学

• 三浦 勉

  東京理科大学工学部電気工学科

• 中東 孝浩

  日新電機(株)先端技術研究開発部技術研究グループ

• 広畑 優子

  北海道大学工学部

• 楠 勲

  東北大学科学計測研究所

• 門倉 秀公

  住友化学工業株式会社

• 金 瑞元

  日電アネルバ(株)

• 神馬 仁志

  日電アネルバ(株)

• 後藤 康仁

  京都大学大学院工学研究科

• 平塚 一

  日本原子力研究所那珂研究所

• 佐々木 雅夫

  アネルバ株式会社

• 市ノ川 竹男

  早稲田大学

• 稲吉 さかえ

  日本真空技術(株)筑波超材料研究所

• 三沢 俊司

  日本真空技術(株)筑波超材料研究所

• 永関 一也

  山梨大学工学部

• 楠 秀樹

  山梨大学工学部

• 斉藤 幸典

  山梨大学工学部

• 菅ノ又 伸治

  山梨大学工学部

• 畠山 力三

  東北大学工学研究科

• 石川 稜威男

  山梨大学工学部

• 大手 丈夫

  群馬工業高等専門学校

• 板垣 克則

  日電アネルバ研究開発本部

• 内山 智雄

  日電アネルバ研究開発本部

• 玉川 孝一

  日本真空技術・筑波半技研

• 伊佐 弘

  大阪工業大学

• 茶谷原 昭義

  大阪工業技術研究所

• 阪口 享

  大阪工業技術研究所

• 宗村 哲雄

  東京理科大学工学部電気工学科

• 泉 順

  群馬工業高等専門学校電子情報工学科

• 根岸 恒雄

  群馬工業高等専門学校

• 藤井 隆満

  (株)セントラル硝子

• 上條 栄治

  龍谷大学理工学部

• 塚越 修

  日本真空技術(株)技術開発部

• 遠藤 和弘

  電子技術総合研究所

• 市川 洋

  松下中央研究所

• 瀬恒 謙太郎

  松下中央研究所

• 吉岡 捷爾

  高松工業高等専門学校電気工学科

• 小池 勲

  福岡工業大学

• 中尾 節男

  名古屋工業技術研究所

• 宮川 草児

  名古屋工業技術研究所

• 上條 長生

  大阪工業技術研究所

• 松岡 長

  鳥取大工

• 圓山 敬史

  鳥取大工

• 原田 寛治

  鳥取大工

• 岸田 悟

  鳥取大工

• 徳高 平蔵

  鳥取大工

• 藤村 喜久郎

  鳥取大工

• 小柳 剛

  山口大工

• 塩川 善郎

  JRCAT(アトムテクノロジー研究体)-ATP

• 菊地 俊雄

  日電アネルバ株式会社

• 君島 文雄

  日本真空技研

• 中村 茂昭

  高松工業高等専門学校

• 岸田 俊二

  日本電気(株)材料部品分析評価センター

• 安納 勝人

  日本原子力研究所

• 伊藤 弘孝

  三菱電線工業(株)中央研究所基礎技術研究部

• 宮坂 洋一

  Nec 基礎研

• 伊ヶ崎 泰宏

  静岡大学電子工学研究所

• 斎藤 順雄

  高松工業高等専門学校

• 仲秋 勇

  静岡県工業技術センター

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著作論文

• 高密度プラズマを用いた化学蒸着(CVD)法によるチタン系薄膜の作製と評価
• CVD-Al薄膜の成長過程とその下地依存性 : 堆積膜表面からの反射光強度のモニタ
• 低圧および低温のMO-CVD法によるTiN薄膜の作製
• ハイテクを支える真空技術と真空化学(話題を探る)
• マグネトロン・スパッタ・ターゲットの***ージョン・レート分布の数値シミュレーション
• マルチターゲットスパッタ法による Pb(Zr,Ti)O_3 強誘電体薄膜の作製とその評価
• 多元同時スパッタリング法によるY_1Ba_2Cu_3O_y薄膜の作製
• 高真空平板マグネトロン放電の開発
• サマリー・アブストラクト
• アブストラクト
• Gas-Temperature-Controlled CVDによる単結晶Al膜の作成
• アブストラクト
• アブストラクト
• 小型ECRイオン源のイオン分析
• 超LSI量産用スパッタ装置によるTiN膜の特性
• 高速マグネトロンスパッタリングによる炭素薄膜の作製
• 高速マグネトロンRFスパッタ法によるタンタル薄膜
• 焼結タ-ゲットによるシリサイド・スパッタ膜の特性(速報) (第25回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス--昭和59年10月29日〜31日)
• 2重構造タ-ゲットによるAlスパッタ膜のステップカバレッジ(速報) (第25回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス--昭和59年10月29日〜31日)

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