楠 秀樹 | 山梨大学工学部
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概要
関連著者
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楠 秀樹
山梨大学工学部
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菅ノ又 伸治
山梨大学工学部
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山梨大学工学部
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齊藤 幸典
山梨大学工学部
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永関 一也
山梨大学工学部
著作論文
- シリコンウエハー付き電極系SF_613.56MHz放電の診断
- エッチングガスの 1MHz 平板放電:CF_4とSF_6
- 14a-DG-8 負性ガスの1MHz平板放電 : CF_4, SF_6 / N_2, SF_6
- CF_4/Ar混合ガス1MHz放電プラズマにおける電子温度
- CF4/Arの1MHz放電プラズマ : 絶縁Al板付接地電極での諸特性
- 29p-YC-2 Arを混合した負性ガスRF放電の特性 : I CF_4/Ar 1 MHz放電の特性
- CF_4/Ar 1 MHz放電における発光の時空間プロファイル
- サマリー・アブストラクト