29p-YC-2 Arを混合した負性ガスRF放電の特性 : I CF_4/Ar 1 MHz放電の特性
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概要
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- 社団法人日本物理学会の論文
- 1995-09-12
著者
-
菅ノ又 伸治
山梨大工
-
石川 稜威男
山梨大工
-
石川 稜威男
山梨大学 工学部 電気電子システム工学科
-
楠 秀樹
山梨大学工学部
-
菅ノ又 伸治
山梨大学工学部
-
斎藤 幸典
山梨大工
-
楠 秀樹
山梨大工
-
石川 稜威男
山梨大学工学部
-
石川 稜威男
感性科学研究所
-
斉藤 幸典
山梨大 工
-
齊藤 幸典
山梨大学工学部
-
管ノ又 伸治
山梨大学工学部
-
青柳 健二
山梨大学工学部
-
斉藤 幸典
山梨大工
-
青柳 健二
山梨大工
-
石川 稜威男
山梨大
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