C_4F_8ArO_2およびC_4F_8/SF_6/O_2混合ガスにおける13.56MHz放電中のイオン種
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概要
著者
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石川 稜威男
山梨大学 工学部 電気電子システム工学科
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石川 稜威男
山梨大学工学部電気電子システム工学科
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斉藤 幸典
山梨大学工学部
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菅ノ又 伸治
山梨大学工学部
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斎藤 幸典
山梨大工
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石川 稜威男
山梨大学工学部
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石川 稜威男
感性科学研究所
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斉藤 幸典
山梨大 工
-
齊藤 幸典
山梨大学工学部
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永関 一也
東京エレクトロン山梨
-
永関 一也
東京エレクトロンat
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廣瀬 友嗣
山梨大学工学部
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管ノ又 伸治
山梨大学工学部
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石川 稜威男
山梨大
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