永関 一也 | 東京エレクトロンat

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概要

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関連著者

• 永関 一也

  東京エレクトロン山梨

• 永関 一也

  東京エレクトロンat

• 石川 稜威男

  山梨大学 工学部 電気電子システム工学科

• 石川 稜威男

  山梨大学工学部電気電子システム工学科

• 斉藤 幸典

  山梨大学工学部

• 菅ノ又 伸治

  山梨大学工学部

• 斎藤 幸典

  山梨大工

• 石川 稜威男

  山梨大学工学部

• 石川 稜威男

  感性科学研究所

• 斉藤 幸典

  山梨大 工

• 管ノ又 伸治

  山梨大学工学部

• 石川 稜威男

  山梨大

• 齊藤 幸典

  山梨大学工学部

• 廣瀬 友嗣

  山梨大学工学部

• 青柳 健二

  山梨大学工学部

• 佐々木 伸也

  山梨大学工学部

• 西村 栄一

  東京エレクトロン山梨(株)

• 阿部 祐一

  東京エレクトロン

• 丸山 幸児

  東京エレクトロンAT

• 平山 祐介

  東京エレクトロンAT

• 西村 栄一

  東京エレクトロン山梨

• 西村 栄一

  東京エレクトロンat(株)技術開発センタ

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著作論文

• 3D Interconnect 向けSiエッチング技術
• C_4F_8ArO_2およびC_4F_8/SF_6/O_2混合ガスにおける13.56MHz放電中のイオン種
• C_4F_8/O_2混合ガス1MHz平板放電の特性
• CF_4/O_2混合ガスの1MHz放電特性
• SF6/Ar 13.56MHz放電プラズマの負イオン
• SF_6/Ar混合ガス13.56MHz放電におけるイオンの質量分析

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