斉藤 幸典 | 山梨大 工
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概要
関連著者
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斉藤 幸典
山梨大 工
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菅ノ又 伸治
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斎藤 幸典
山梨大工
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山梨大学工学部
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管ノ又 伸治
山梨大学工学部
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石川 稜威男
山梨大
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石川 稜威男
山梨大学 工学部 電気電子システム工学科
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石川 稜威男
山梨大学工学部電気電子システム工学科
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永関 一也
東京エレクトロン山梨
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石川 稜威男
感性科学研究所
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青柳 健二
山梨大学工学部
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楠 秀樹
山梨大学工学部
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永関 一也
山梨大学工学部
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永関 一也
東京エレクトロンat
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廣瀬 友嗣
山梨大学工学部
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菅ノ又 伸治
山梨大工
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石川 稜威男
山梨大工
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西村 栄一
東京エレクトロン山梨(株)
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斉藤 幸典
山梨大工
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斉藤 幸典
山梨大学
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西村 栄一
東京エレクトロン山梨
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菅ノ又 伸治
山梨大学 工学部
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西村 栄一
東京エレクトロンat(株)技術開発センタ
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小林 秀彦
山梨大学工学部
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佐々木 伸也
山梨大学工学部
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雨宮 達之
山梨大学工学部
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秋津 哲也
山梨大・工
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秋津 哲也
山梨大学工学部電子情報工学科
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永関 一也
山梨大工
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楠 秀樹
山梨大工
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青柳 健二
山梨大工
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伊藤 聡
山梨大学工学部
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雨宮 達之
山梨大工
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大村 三好
山梨大学工学部
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山本 雅之
山梨大学工学部
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田中 豊
山梨大学工学部
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秋津 哲也
山梨大学工学部
著作論文
- シリコンウエハー付き電極系SF_613.56MHz放電の診断
- エッチングガスの 1MHz 平板放電:CF_4とSF_6
- C_4F_8ArO_2およびC_4F_8/SF_6/O_2混合ガスにおける13.56MHz放電中のイオン種
- C_4F_8/O_2混合ガス1MHz平板放電の特性
- CF_4/O_2混合ガスの1MHz放電特性
- SF_6/Arの1MHz平板放電 : II電極上Al板の帯電とその影響
- SF6/Ar 13.56MHz放電プラズマの負イオン
- SF_6/Ar混合ガス13.56MHz放電におけるイオンの質量分析
- CF_4/Ar混合ガス1MHz放電プラズマにおける電子温度
- CF4/Arの1MHz放電プラズマ : 絶縁Al板付接地電極での諸特性
- 28p-YT-2 SF_6RF放電におけるラジカルと正負イオン種
- 29p-YC-2 Arを混合した負性ガスRF放電の特性 : I CF_4/Ar 1 MHz放電の特性
- CF_4/Ar 1 MHz放電における発光の時空間プロファイル
- O_2/Ar混合ガスの1MHz放電特性
- SF6/Ar1MHz放電プラズマの電子温度
- 金属イオンを二重注入した水晶の光学的特性
- Ag,Cuイオンを注入したYSZの光学的特性に及ぼす熱処理の効果
- 低気圧SF_6 RF放電の周波数依存
- 27a-ZA-7 SF_6RF放電のインピーダンス
- サファイヤに打込まれたCoのX線光電子分光 (イオンビ-ムによる薄膜と表面改質)
- 遷移金属イオン打込みによる水晶の着色
- LiN_bO_3への金属イオン打込み
- Ar^+イオン照射法を用いたNbN/Pb(In)ジョセフソン素子の特性