小林 秀彦 | 山梨大学工学部
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概要
関連著者
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小林 秀彦
山梨大学工学部
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著作論文
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- エッチングガスの 1MHz 平板放電:CF_4とSF_6
- 14a-DG-8 負性ガスの1MHz平板放電 : CF_4, SF_6 / N_2, SF_6
- 1MHz RF放電における電極上の物質の浮遊電位