14a-DG-8 負性ガスの1MHz平板放電 : CF_4, SF_6 / N_2, SF_6
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概要
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- 社団法人日本物理学会の論文
- 1993-09-20
著者
-
菅ノ又 伸治
山梨大工
-
石川 稜威男
山梨大工
-
小林 秀彦
山梨大学工学部
-
楠 秀樹
山梨大学工学部
-
菅ノ又 伸治
山梨大学工学部
-
永関 一也
山梨大工
-
小林 秀彦
山梨大工
-
斎藤 幸典
山梨大工
-
楠 秀樹
山梨大工
-
齊藤 幸典
山梨大工
-
石川 稜威男
山梨大学工学部
-
齊藤 幸典
山梨大学工学部
-
永関 一也
東京エレクトロン山梨
-
管ノ又 伸治
山梨大学工学部
-
石川 稜威男
山梨大
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