永関 一也 | 山梨大工
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概要
関連著者
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著作論文
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- 14a-DG-8 負性ガスの1MHz平板放電 : CF_4, SF_6 / N_2, SF_6
- 28p-YT-2 SF_6RF放電におけるラジカルと正負イオン種
- 26p-E-9 SF_6 13.56MHz RF放電の質量分析による観測