西村 栄一 | 東京エレクトロンat(株)技術開発センタ

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関連著者

• 西村 栄一

  東京エレクトロン山梨(株)

• 西村 栄一

  東京エレクトロンat(株)技術開発センタ

• 菅ノ又 伸治

  山梨大学工学部

• 斎藤 幸典

  山梨大工

• 石川 稜威男

  山梨大学工学部

• 永関 一也

  東京エレクトロン山梨

• 管ノ又 伸治

  山梨大学工学部

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• 齊藤 幸典

  山梨大学工学部

• 石川 稜威男

  山梨大

• 菅ノ又 伸治

  山梨大工

• 石川 稜威男

  山梨大工

• 石川 稜威男

  山梨大学工学部電気電子システム工学科

• 斉藤 幸典

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• 斉藤 幸典

  山梨大 工

• 小林 秀彦

  山梨大学工学部

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• 石川 稜威男

  山梨大学 工学部 電気電子システム工学科

• 楠 秀樹

  山梨大学工学部

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  山梨大工

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• 石川 稜威男

  感性科学研究所

• 斎藤 幸典

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  東京エレクトロンat

• 佐々木 伸也

  山梨大学工学部

• 斉藤 幸典

  山梨大工

• 中島 滋

  東京エレクトロン東北(株)開発部

• 八重樫 英民

  東京エレクトロン(株)先端プロセス開発センタ

• 長谷部 一秀

  東京エレクトロン東北(株)開発部

• 川崎 哲

  東京エレクトロン九州(株)プロセス開発部

• 櫛引 理人

  東京エレクトロンAT(株)技術開発センタ

• 原 亜梨沙

  東京エレクトロン(株)先端プロセス開発センタ

• 山内 祥一

  東京エレクトロン(株)先端プロセス開発センタ

• 名執 桜子

  東京エレクトロン(株)先端プロセス開発センタ

• 村上 博樹

  東京エレクトロン東北(株)開発部

• 矢部 和雄

  東京エレクトロン(株)先端プロセス開発センタ

• 志村 悟

  東京エレクトロン九州(株)プロセス開発部

• 岩尾 史子

  東京エレクトロン九州(株)プロセス開発部

• 小山 賢一

  東京エレクトロン(株)先端プロセス開発センタ

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著作論文

• シリコンウエハー付き電極系SF_613.56MHz放電の診断
• 2p-A-11 SF_6 13.56MHz 放電特性のガス流量依存
• SF_6/Ar混合ガス13.56MHz放電におけるイオンの質量分析
• 28p-YT-2 SF_6RF放電におけるラジカルと正負イオン種
• 平行平板RF放電における直流自己バイアス電圧の発生とその抑制
• 26p-E-9 SF_6 13.56MHz RF放電の質量分析による観測
• ダブルパターニング技術の開発と応用

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