シリコンウエハー付き電極系SF_613.56MHz放電の診断
スポンサーリンク
概要
著者
-
小林 秀彦
山梨大学工学部
-
石川 稜威男
山梨大学工学部電気電子システム工学科
-
永関 一也
山梨大学工学部
-
楠 秀樹
山梨大学工学部
-
西村 栄一
東京エレクトロン山梨(株)
-
斉藤 幸典
山梨大学工学部
-
菅ノ又 伸治
山梨大学工学部
-
斎藤 幸典
山梨大工
-
石川 稜威男
山梨大学工学部
-
斉藤 幸典
山梨大 工
-
齊藤 幸典
山梨大学工学部
-
永関 一也
東京エレクトロン山梨
-
管ノ又 伸治
山梨大学工学部
-
西村 栄一
東京エレクトロン山梨
-
石川 稜威男
山梨大
-
西村 栄一
東京エレクトロンat(株)技術開発センタ
関連論文
- 27a-ZA-8 N_2で稀釈したSF_6陽光柱における波動
- 4p-C4-2 SF_6/N_2混合ガス陽光柱における不安定性
- 再生音に対する感覚的な評価を解析するための非線形音質調整法の開発
- 音圧帯域伸長による補聴器の評価
- 音圧圧縮法を適用した音響機器の診断 : 入出力信号間の相関
- 聴覚特性に倣った音圧圧縮法とその応用
- 感性情報の抽出を目的とした音響機器診断法の開発I
- シリコンウエハー付き電極系SF_613.56MHz放電の診断
- 2p-A-11 SF_6 13.56MHz 放電特性のガス流量依存
- エッチングガスの 1MHz 平板放電:CF_4とSF_6
- 14a-DG-8 負性ガスの1MHz平板放電 : CF_4, SF_6 / N_2, SF_6
- 1MHz RF放電における電極上の物質の浮遊電位
- 4p-RA-4 SF_6ガス電離波動のドップラー効果
- 14a-DF-7 SF_6ガス電離波動のパラメトリック効果(II)
- 30a-T-5 SF_6 ガス電離波動のパラメトリック効果
- 2a-SE-6 SF_6ガス放電における電離波動 IV
- 3D Interconnect 向けSiエッチング技術
- C_4F_8ArO_2およびC_4F_8/SF_6/O_2混合ガスにおける13.56MHz放電中のイオン種
- C_4F_8/O_2混合ガス1MHz平板放電の特性
- CF_4/O_2混合ガスの1MHz放電特性
- SF_6/Arの1MHz平板放電 : II電極上Al板の帯電とその影響
- SF6/Ar 13.56MHz放電プラズマの負イオン
- SF_6/Ar混合ガス13.56MHz放電におけるイオンの質量分析
- CF_4/Ar混合ガス1MHz放電プラズマにおける電子温度
- CF4/Arの1MHz放電プラズマ : 絶縁Al板付接地電極での諸特性
- 28p-YT-2 SF_6RF放電におけるラジカルと正負イオン種
- 平行平板RF放電における直流自己バイアス電圧の発生とその抑制
- 26p-E-9 SF_6 13.56MHz RF放電の質量分析による観測
- 29p-YC-2 Arを混合した負性ガスRF放電の特性 : I CF_4/Ar 1 MHz放電の特性
- CF_4/Ar 1 MHz放電における発光の時空間プロファイル
- O_2/Ar混合ガスの1MHz放電特性
- SF6/Ar1MHz放電プラズマの電子温度
- RF放電のガス流量によるイオン種の強度変化 (特集:放電を利用する立場から見た気流の効果)
- 金属イオンを二重注入した水晶の光学的特性
- Ag,Cuイオンを注入したYSZの光学的特性に及ぼす熱処理の効果
- 電気学会東京支部山梨支所便り
- 日照時間が日本一の明野へ 山梨支所
- 2a-E-9 SF_6ガス放電における電離波動III
- Cuイオンを打込まれたLiNbO_3の光学特性
- ニューラルネットワークを用いた打音の特徴抽出
- 音圧圧縮法を適用した打音検査器の特性
- 低気圧SF_6 RF放電の周波数依存
- 28p-ZE-7 光脱離を利用した負性ガス放電中の負イオンの検出III
- 27a-ZA-7 SF_6RF放電のインピーダンス
- サファイヤに打込まれたCoのX線光電子分光 (イオンビ-ムによる薄膜と表面改質)
- 3a-TC-6 光脱離を利用した負性ガス放電中の負イオンの検出II
- 2p-Q-4 光脱離を利用した負性ガス放電中の負イオンの検出
- 発光分光による計測 (半導体プロセス用プラズマ診断法(技術ノ-ト))
- 3a-P-4 SF_6ガス低周波放電におけるスペクトル線強度と平均電子エネルギー
- 27p-H-9 SF6低周波放電の圧力依存特性
- 30a-QE-6 CF_4ガス中の音波周波数領域の放電特性
- 遷移金属イオン打込みによる水晶の着色
- LiN_bO_3への金属イオン打込み
- 4a-H-12 外部励振波動と負イオン波動の周波数結合II
- Ar^+イオン照射法を用いたNbN/Pb(In)ジョセフソン素子の特性
- 4p-I-1 CF_4陽光柱の電離波動
- Niイオン打込み層を介したNbN/Pbジョセフソン素子の特性
- 27a-L-11 プラズマ中浮遊熱電子放出電極の効果
- 4a-RC-12 SF_6過渡放電プラズマ中の電離不安定性II
- 26-y1-10 負イオンプラズマ中の電子波
- 26p-Y1-9 負イオンプラズマの生成とイオン波伝搬
- サマリー・アブストラクト
- サファイヤに打込まれたCoのX線光電子分光
- ダブルパターニング技術の開発と応用
- 大気中短ギャップの開閉インパルス放電特性
- 5a-NT-2 SF_6ガス放電における電離波動 II
- 28p-Y-9 負イオンプラズマ中のイオン波の伝搬特性II
- 28a-H-3 負性気体放電における負イオン波動
- 負イオンを含む低気圧放電中における両極性拡散過程 : 低気圧SF6中のアーク放電の遷移現象
- 2p-T-8 SF_6ガス放電における電離波動
- 2p-T-7 SF_6陽光柱内の低周波振動II
- アインチェルレンズ内でのビーム軌道の空間電荷効果
- 14a-DF-8 SF_6過渡放電プラズマ中における移動縞の観測