負イオンを含む低気圧放電中における両極性拡散過程 : 低気圧SF<SUB>6</SUB>中のアーク放電の遷移現象
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概要
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The transition of the constricted arc to diffused glow discharge in low pressure, 5 to 30 Torr, SF6 was investigated. Some illuminating cases of the enhancement of spectral emission and simultaneous expansion of the plasma column are presented. The mechanism of this transition is attributed to the formation of negative ions and subsequent enhancement of electron diffusion, which is illustrated by the decrease of the density of the current carrying electrons from 3.4×10<SUP>1</SUP>4 cm<SUP>-3</SUP> for the constricted arc to1×10<SUP>13</SUP> cm<SUP>-3</SUP> for the diffused glow discharge, and the increase of the drift velocity from2×10<SUP>7</SUP>CM/S to7×10<SUP>7</SUP>cm/s.
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