3p-W-2 ECRイオン源のバイアス技術_マグネトロンスパッタリングの周期的ビームによる変調
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概要
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- 社団法人日本物理学会の論文
- 1994-08-16
著者
-
秋津 哲也
山梨大・工
-
宮下 大幸
山梨大学・工、電子情報工学科
-
秋津 哲也
山梨大学工学部電子情報工学科
-
松沢 秀典
山梨大工
-
助川 俊光
山梨大学・工学部・電子情報工学科
-
松沢 秀典
山梨大学工学部電子情報工学科
-
宮下 大幸
山梨大学工学部電子情報工学科
-
松沢 秀典
山梨大・工
-
助川 俊光
山梨大学工学部
-
渡辺 文晴
山梨大学工学部
-
秋津 哲也
山梨大学工学部
-
松沢 秀典
山梨大学工学部
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